原标题:日本半导体出口禁令触及我国 国产设备迎时机
5月23日,日本政府出台半导体制作设备出口控制办法,将先进芯片制作设备等23个品类列入出口办理的控制目标,新规将于7月23日正式收效。
时刻还剩余两个月。
5月31日,一位国内晶圆厂人士对记者称,许多晶圆厂人士直到这次禁令才恍然意识到日系设备也藏着巨大危险。一直以来美国对半导体的禁令,导致业界在建厂时侧重评价美系设备的危险,评价日系危险的较少,乃至有人会加大由美系向日韩系设备的替换,包含从海外二手商场收购日系设备的动作都在添加。
我国是世界最大的半导体商场,也是日本半导体工业最大出口商场,日本半导体优势在于出产设备和原材料,每年对华出口额超越100亿美元。
相较于终端和芯片的规划,芯片制作是我国半导体工业的短板。日本企业(我国)研究院履行院长陈言对记者表明,本次出口控制是日本在半导体范畴最严厉、最全面的一次。比较美国对我国施行的实体清单等出口控制办法,日本的办法更冲击工业开展的根基,因为美国企业拿手芯片规划及制品,而日本企业拿手芯片的出产设备和原材料。
一位国内晶圆厂人士对记者表明,清单所包含的23项半导体设备首要用于半导体的前道出产,也就是在一个空白的硅片上完结电路加工的进程,后续封装的东西不在此内;从设备的描绘看出,都是日本企业最拿手的部分,但并不包含出产的一切,一般一条晶圆出产线需求半导体机台约有上百种。
清单虽未清晰阐明设备适用的制程节点,记者从相关律师、晶圆厂人士处得悉,但从详细设备的描绘,以及从过往日本所约束的物项来看,指向的是先进工艺半导体所需的设备。工业一般以14nm为分界线,将芯片制作分为先进和老练两种工艺,制程越小,工艺越先进。
针对先进半导体
本次有23个半导体相关品类被列入控制目标,包含1项热处理设备、3项清洗设备、4项光刻/曝光设备、3项刻蚀设备、1项测验设备和11项薄膜堆积设备。
揭露材料看,上述23类设备中,光刻设备的出产以尼康和佳能为主,涂胶显影设备和干法刻蚀设备、堆积设备以东京电子为主。
在设备方面,依据美国半导体工业查询公司VLSIResearch调研,2020年日本有7家企业被列为全球前15多半导体设备厂商。我国一直是日本半导体设备厂商重要收入来历区域。
群益证券剖析,清单在光刻机方面约束ArFi及更先进制程设备,其他设备全体对应工艺制程14nm及以下。中信证券剖析,在受限的4项光刻设备中触及EUV,EUV光刻机(仅荷兰ASML供给)的收购国内长时刻受限,所以日本约束的是EUV配套产品并没有本质影响。但一起,ArF浸没式光刻机日本尼康有相关产品也遭到约束,未来需调查答应实践发放状况。
上述晶圆厂人士称,现在全国各地兴修的晶圆厂至少稀有百家,真实从事先进半导体出产的并不多,现在看老练工艺产线暂时不会遭到影响,具有先进工艺出产能力企业的扩产会遭到必定影响,国内约有4-5家,每家企业有不止一条先进半导体产线。
打破原有出口控制结构
日本一直在半导体范畴施行出口控制方针,一起日本也是瓦森纳组织的成员国之一,其半导体设备也需求恪守相应的出口控制的协调性组织。北京市举世律师事务所上海分所合伙人赵德铭表明,因为上述设备与设备大部分尚没有列入瓦森纳组织项下两用物项清单,例如多项薄膜堆积设备并不在该清单的第3类“电子类产品”项下,因而能够看出,这现已彻底打破了多边瓦森纳组织的结构,归于单边的、在经济上的战略对立。
本次控制办法并非专门针对我国,而是针对一切区域。赵德铭表明,本质上日本与美国相同有个出口控制国别清单,关于所谓的友好国家,免于申领答应证,关于其他国家(包含我国,日本针对我国实施军品禁运方针),则需求出口答应,鉴于我国巨大的进口需求,能够看出本次控制对我国的针对性很强。
赵表明,依据日本《外汇及外国贸易法》及其规矩,违背相关出口控制规矩,未经答应出口控制物项或技能,视情节严重程度,或许遭到刑事处分,行政处分或许正告。
刑事处分首要包含有期徒刑,公司最高可被罚款10亿日元,个人最高可被罚款3000万日元。前述罚金少于违法物项的五倍的,依照五倍判罚;行政处分是违法者可被制止在3年内从事出口活动;别的,日本经济贸易工业省可在其以为适宜的状况下对违法者宣布揭露正告。
许多中企和日企是长时刻收购联系,新规的控制规划是否包含曩昔已收购的设备及设备保护?
对此,赵德铭表明,新规自身并未清晰这一问题,但咱们注意到有新闻曾泄漏更早之前美国、日本和荷兰的三方半导体出口控制协议拟方案将售后修理环节也归入控制范畴,即不允许为在规矩收效前运往我国的产品供给保护服务。
赵德铭表明,从出口控制的监管逻辑上来看,出口控制的是控制物项(含产品、技能、软件和服务)的跨境搬运,在新的控制收效后,除非有破例规矩,触及控制物项的保护、修理服务等活动,在日本出口控制准则下或许构成控制技能出口而一般遭到出口控制,不管所需保护的产品出口是否在先或许在后。可是,就详细的修理,日本厂家理论上能够请求答应证。请求是否成功得看日本政府的世界方针考量与详细方针掌握,或许随时发生变化。
可是也应该看到,日本与欧盟相同,并没有美国出口控制意义上严厉的“再出口”控制以及关于在日本之外所出产的物项(外国出产物项)的控制,一起关于外国企业和个人,只要依照最终用户黑名单准则。因而关于在华企业而言,关于日本原产的半导体物项,客观上并不是全然没有供应链途径,仅仅途径或许更加收窄。更为要害的问题仍是物项进口后的售后保护问题,这将检测各方的政治以及经济才智。
陈言以为,本次出口控制会对中日两国,乃至全球规划的半导体工业构成长时刻效应。日本半导体也遵从着规划效应、长报答周期的规则,失掉一部分我国商场,会减慢日企回收研制本钱的速度,那么每一代设备出资都会拉长,技能革新速度也会减慢。
国产时机
芯片制作是我国半导体工业的短板。制作又分为前道和后道环节,比较之下,我国在前道设备上的国产化进程更弱,而本次受限的日系设备悉数来自于前道环节。
东吴证券剖析,收入口径下,2022年11家半导体设备企业算计完结经营收入376亿元,同比增加53%,对应半导体设备商场全体国产化率约22%。细分范畴来看,国产半导体设备企业在清洗、热处理、CMP、刻蚀设备等范畴已获得必定商场份额。可是,关于光刻、丈量/检测、涂胶显影、离子注入设备等范畴,预估2022年国产化率仍低于10%,国产代替空间较大。
依据东吴证券数据,2022年国内的华虹无锡厂多款设备投标全体国产化率缺乏20%。其间清单上的薄膜堆积设备国产化率10%,检测和量测设备2%,光刻和涂胶显影设备为0。
但仍然有少量企业在该范畴做出了效果。芯源微专心国产涂胶显影设备,公司表明前道涂胶显影设备已完结在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全掩盖,并可继续向更高工艺等级迭代。
中微公司的刻蚀设备现已做到5nm节点。北方华创的事务包含多项清单内设备,包含刻蚀设备、薄膜堆积设备、热处理设备、清洗设备。2022年公司电子工艺设备收入121亿元,毛利率为37.7%,较上年提高4.7个百分点。
一位从事半导体耗材的人士对记者称,禁令会在必定程度上加速国产代替的进程,比方客户会加强国货的投标或许备选,供给一些时机。可是比较芯片自身,芯片在设备和耗材上的国产代替其实是更困难的进程,这儿遵从赢者通吃的工业规则,客户生意是黏性很强的,许多本乡晶圆厂多年来现已和海外供货商现已达到强绑定联系。
该人士称,关于一家新供货商,客户要承当的危险大于收益,产品需求不断迭代,要花很多时刻和资金去试错,有的乃至供给研制经费给供货商,所以后来者很难追逐。有些国产企业技能上达到了客户规范,却终年做备用品,最多也是小批量供货,乃至很难得到试用时机。
世界半导体工业协会估计,2024年全球晶圆厂设备开销约920亿美元,同比增加21%。上述晶圆厂人士称,依照工业规则,下一年晶圆厂会走入一个扩产周期,对半导体设备的需求也会增加。外部的禁令会倒逼国货开展,给予国产设备商更多时机进入大厂,可是因为工业自身的经验性和客户黏性,替换设备商的进程,对晶圆厂和最终用户来说都是一个阵痛期。(记者 沈怡然)